| 测量项目 |
| 测量项目 |
点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理（圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离等）、*高点、*低点、距离、角度处理（坐标夹角、直线夹角）、直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度（对数曲线）、轮廓度等参数 |
| 测量范围 |
| X轴（横导轨） |
220mm |
| Z1轴（传感器） |
30mm |
| Z轴（立柱） |
500mm |
| 测量精度 |
X轴
(L=X轴导轨移动距离) |
±(1.5+2L/100)μm |
Z1轴
(H=Z1轴方向测量高度) |
±(1.8+4H/100)μm |
| X轴水平臂 |
| 直线度 |
1.8μm/200mm |
| 光栅分辨率 |
0.2μm |
| 光栅产地 |
进口 |
| Z1轴传感器 |
| 分辨率 |
0.1μm |
| 传感器类型 |
光栅传感器 |
| 产地 |
进口 |
| 移动方向 |
前/后 双方向 |
| 测力 |
0.5-6g |
| 测针针尖 |
硬质合金 R：0.05mm、0.01mm |
| 爬坡角度 |
上升77度 下降88度 |
| 速度 |
| 测量速度 |
0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定义） |
| 定位速度 |
0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定义） |
| 图形放大/缩小 |
| 图形放大 |
可任意缩小、放大 |
| 综合调整台 |
| 综合调整台 |
X轴水平倾斜调整范围：±30°
Y轴方向调整范围：±7.5mm
Z轴回转可调360度（带微调装置） |
| 安装要求 |
| 电源 |
220-240V AC, 50HZ，单独地线；*大功率消耗450W |
| 压缩空气 |
纯净压缩空气：气压0.4MP，消耗0.1m3 /min （气源供给0.6MP，0.25m3 /min以上） |
| 环境要求 |
工作温度：10°-30°（常温）；湿度20-80%RH（无结露），良好地线，无明显振源 |
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